Ellipsometer & Reflectometer[박막두께 측정 ] (SCI)

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 SCI


 

FilmTek™ 4000EM-DUV

 

FilmTek™ 4000EM-DUV

FilmTek™ Optical Head

FilmTek™ Software

FilmTek™ 4000 EM-DUV Features

  1. 다양한 각도에 대한 편광된 빛의 Spectroscopic reflection (190nm~1700nm 범위)

  2. rotating compensator를 가진 Spectroscopic ellipsometry

  3. 작은 spot 사이즈 (50x50 µm 이내)

  4. 독립적으로 필름에 대한 두께 및 굴절률 측정 가능

  5. SCI 사의 새로운 Multi-Angle Differential Polarimetry (MADP) 기술 Differential Power Spectral Density (DPSD) 기술 적용

  6. Thin films에 대한 측정 수단

  7. 옵션 기능:
    - Cassette to cassette wafer handling
    - Pattern recognition (Cognex)
    - 300mm, FOUP, and SMIF compatible

 

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FilmTek™ CD

 

FilmTek™ CD

 

FilmTek™ CD-A

 

FilmTek™ CD Features  

  1.  빠르고 비 접촉 optical profile 측정 시스템

  2. 두께, 굴절률, 그리고 다양한 CD 에 대한 동시 측정

  3. spectroscopic, multiple-angle polarized reflectometry 와 ellipsometry (240nm-1000nm)의 결합

  4. 넓은 적용 범위에 대한 빠르고 실시간 측정 및 최소 셋업 시간

  5. 패턴 분석을 위한 최소 spot 사이즈 ( 50x50 micron 이내)

  6. CD의 작은 width(10nm 이내)에 대하여 Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA) 와  Generalized Ellipsometry (4x4 matrix generalization method) 기술 사용

  7. R&D applications 에 대하여 적은 비용으로 Fully automated for production 가능

  8. Optional features:
    - Cassette to cassette wafer handling
    - Pattern recognition (Cognex)
    - 300mm, FOUP, and SMIF compatible

 

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FilmTek™ 4000

 

FilmTek™ 4000

 

FilmTek™ 4500SE

FilmTek™ 4000-A

 

FilmTek™ 4000SE

300mm Autoloader

FilmTek™ 4000 Features

  1.  FilmTek™ 4000는 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정가능:
    - Multiple layer thicknesses from 1Å to 350µm
    - Optical properties from 190nm-1700nm
    - TE and TM indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
    - Energy band gap [ Eg ]        
    - Constituent and void fraction
    - Surface roughness

  2. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요

  3. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.

  4. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템

  5. Optional features: - Spectroscopic ellipsometry option for thin films (rotating compensator design)
    - Cassette to cassette wafer handling
    - Heating/cooling chuck
    - 300mm, FOUP, and SMIF compatible

 

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FilmTek™ 2000SE and FilmTek™ 3000SE Spectroscopic Ellipsometer

 

FilmTek™ 2000SE

 

FilmTek™ 3000SE PAR-SE

150-200mm AutoLoader

FilmTek™ 3000SE

 

FilmTek™ SE

300mm AutoLoader

FilmTek™ SE Features

  1.  FilmTek™ 2000SE 는 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정가능
    - Multiple layer thicknesses
    - Indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
    - Energy band gap [ Eg ]        
    - Constituent and void fraction
    - Film gradient
  2. 경쟁력 있는 Low Cost.
  3. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요
  4. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.
  5. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템
  6. Optional features:
    - Computer controlled automated stage.
    - Cassette to cassette wafer handling
    - Small spot size (50 microns)
    - Pattern recognition (Cognex)

 

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FilmTek™ 3000, FilmTek™ 3000M, and  FilmTek™ 3000 PAR

 

FilmTek™ 3000

 

FilmTek™ 3000M

Flat Panel Display

FilmTek™ 3000M

 

FilmTek™ 3000 PAR

FilmTek™ 3000 Features

  1. FilmTek™ 3000 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정 가능
    - Multiple layer thicknesses
    - Indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
    - Energy band gap [ Eg ]        
    - Constituent and void fraction
    - Surface roughness
  2. 경쟁력 있는 Low Cost.
  3. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요
  4. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.
  5. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템
  6. Optional features:
    - Computer controlled automated stage
    - Large custom stages for flat panel display applications
    - Small spot size (2 microns)
    - Pattern recognition (Cognex)
    - Polarimetry
    - Cassette to cassette wafer handling

 

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FilmTek™ 2000M TSV

 

FilmTek™ 2000M TSV

300mm AutoLoader

FilmTek™ 2000M TSV

300mm FOUP Module

FilmTek™ 2000M TSV Features

  1. 높은 aspect ratio TSV 구조물에 대한 측정
  2. TSV etch 깊이 500 µm까지 측정
  3. 1 µm 이내의 반경을 가진 TSV 구조물 측정
  4. Patented FilmTekTM technology
  5. 빠른 측정 시간 (포인트 마다 ~1 second )
  6. 단순한 tool 로써 TSV etch 깊이, bump 높이, critical dimension, and film thickness metrology 확인 가능
  7. Optional features:
    - Cassette to cassette wafer handling
    - Brooks or SCI automation
    - 300mm, FOUP, and SMIF compatible

 

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FilmTek™ 2000

 

FilmTek™ 2000

 

FilmTek™ 2000 PAR

FilmTek™ 2000M

 

FilmTek™ 2000

300mm Automated XY Stage

FilmTek™ 2000 Features

  1. FilmTek™ 2000 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정 가능
    - Multiple layer thicknesses
    - Indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
    - Energy band gap [ Eg ]        
    - Constituent and void fraction
    - Surface roughness
  2. 경쟁력 있는 Low Cost.
  3. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요
  4. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.
  5. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템
  6. Optional features:
    - Computer controlled automated stage
    - Small spot size (2µm)
    - Pattern recognition (Cognex)
    - Cassette to cassette wafer handling

 

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FilmTek™ 1000

 

FilmTek™ 1000

Fixed Stage

 

FilmTek™ 1500

Manual XY Stage

FilmTek™ 1000M

Automated XY Stage

 

FilmTek™ 1500

Automated XY Stage

FilmTek™ 1000 Features

  1. FilmTek™ 1000 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정 가능
    - Multiple layer thicknesses
    - Indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
  2. 경쟁력 있는 Low Cost.
  3. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요
  4. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.
  5. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템

 

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FilmTek™ Solar

 

FilmTek™ 1000 UV

Fixed Stage

 

FilmTek™ Integrating Sphere

Fixed Stage

FilmTek™ Solar Features

  1. Versatile: FilmTek™ Solar 세계적으로 최적화된 알고리즘을 가진 SCI’s generalized material model 로써 다음과 같은 값을 동시적으로 측정 가능
    - Multiple layer thicknesses
    - Indices of refraction [ n(l ) ]
    - Extinction (absorption) coefficients [ k(l ) ]
  2. 경쟁력 있는 Low Cost.
  3. 쉬운 측정 및 셋업: thin film optical design 및 측정 기술에 대하여 최소의 경험 필요
  4. 완벽한 "turn key" System: 시스템에 대한 calibration, acquisition, and analysis software 기능 탑재.
  5. 샘플에 대한 비 접촉 비 파괴 시스템

 

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